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Filmetrics R54-系列
08-17
2022
Filmetrics R54-系列
系統優勢 ·密閉系統有助于測量光靈敏或環境敏感樣品 ·可容納最大直徑為300毫米的樣品 ·可配置四探針(4PP)或非接觸式渦流(EC)模式 ·15毫米的最大樣品高度 ·方塊電阻測量范圍覆蓋十個量級 ·...
Lumina 半導體應用
05-21
2022
Lumina 半導體應用
半導體、硅晶圓、圖案化晶       薄膜缺陷     薄膜缺陷通常是由于工藝條件或涂覆薄膜之前留在表面上的先前污染而導致的涂層均勻性差而導致的薄膜缺...
Filmetrics? R50系列 電阻測試儀 半導體應用
03-17
2022
Filmetrics? R50系列 電阻測試儀 半導體應用
  金屬薄膜均勻性 金屬薄膜的電阻均勻性對于確保元件性能至關重要,大多數金屬薄膜都可以通過4PP和EC進行測量。EC推薦用于較厚的高導電金屬膜,4PP適用于較薄的金屬膜(> 10Ω/s...
FRT MicroProf?SERIES 產品介紹
03-17
2022
FRT MicroProf?SERIES 產品介紹
    一臺設備即可滿足所有3D全景及微觀形貌測量需求 4種光學像模式+AFM原子力模式       雙探頭 測試模式 解決雙面厚度,雙面面型,TTV...