留言板 -
團隊超20年的從業(yè)經(jīng)驗，熟知光學(xué)、光譜、電性等行業(yè)測試，我會在最快的時間與您聯(lián)絡(luò)；
銷售：廖經(jīng)理
手機：18620906383
*已整理所有中英文目錄，供您下載
測量項目
FocalSpec CT Series
● 重復(fù)精度50納米；
● 完美適應(yīng)“透明"，"高反光" 等復(fù)雜表面材料
● 可測量平面度、粗糙度、輪廓臺階等3D尺寸
● 最大掃描成像 視場 300*300mm（兼容12" wafer)
光譜共聚焦3D輪廓儀
 |
? 適用于透明/高反光 等復(fù)雜樣品表面的掃描成像
? 最大掃描重復(fù)精度可達 50nm
? 2D平面尺寸，3D輪廓高低臺階，3D平面度面型測量，表面粗糙度? 測試，3D-CAD對比功能，線輪廓度，面輪廓度等
? 靈活測試方案，可以做產(chǎn)線自動化訂制；實現(xiàn)在線全檢。
? 最大拼接視野 可達300*300mm
|
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?透明玻璃/高反光金屬? 手機混合類材料3D檢測/測量
? ?平面度/平整度測試/? BGA植絨球
大視野下 納米級 粗糙度表面分析
 |
 |
KLA-Profilm 3D
● 亞納米級別精度下，
● 最大可實現(xiàn)厘米級視野（自動拼接）
● 平面度/平整度/面型測量，涵蓋粗糙度，臺階輪廓等測量功能；
（KLA知名品牌，售價低，高性價比）
MicroProf@半/全自動系列
● 納米級別精度下，
● 最大可滿足12寸晶圓全幅面測量
● 平面度/平整度/面型測量，涵蓋TTV BOW WARP，粗糙度，膜厚等測量功能
（適用實驗離線分析 和 產(chǎn)線線上全自動分析）
MicroProf?AP
晶圓3D輪廓顯微測量
Max 300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測量
全自動 實現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測試
MicroProf AP系列 全自動系列
MicroProf?DI
晶圓3D輪廓顯微測量
Max300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測量
全自動 實現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測試
MicroProf DI系列 全自動系列
MicroProf?FE
晶圓3D輪廓顯微測量
Max 300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測量
全自動 實現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測試
MicroProf FE系列 全自動系列
MicroProf?FS
晶圓3D輪廓顯微測量
Max 300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測量
全自動 實現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測試
MicroProf FS系列 全自動系列
ALICONA InfiniteG5
● 20納米級別精度，
● 豐富的旋轉(zhuǎn)平臺配件，"全自動" 360度掃描成像
● 適用復(fù)雜空間結(jié)構(gòu)尺寸測量要求，且可逆向設(shè)計
（典型案例：刀具、噴油嘴，高精密齒輪，渦輪片等）
ALICONA EdgeMaster
● 20納米級別精度，
● 豐富的旋轉(zhuǎn)平臺配件，"半自動" 360度掃描成像
● 適用復(fù)雜空間結(jié)構(gòu)尺寸測量要求，且可逆向設(shè)計
（典型案例：刀具、噴油嘴，高精密齒輪，渦輪片等）
留言板 -
團隊超20年的從業(yè)經(jīng)驗，熟知光學(xué)、光譜、電性等行業(yè)測試，我會在最快的時間與您聯(lián)絡(luò)；
銷售：廖經(jīng)理
手機：18620906383
