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團隊超20年的從業經驗，熟知光學、光譜、電性等行業測試，我會在最快的時間與您聯絡；
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激光 表面缺陷分析 Lumina
Lumina AT1系列
型 號 ：AT1/2
產 地 ：美國
采用光學表面分析（OSA）專用技術的自動特征缺陷（DOI）檢測與分類系統。
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Lumina AT2系列
● 最高分辨率可達 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場可達450*450mm
● 軟件自動分篩統計”劃痕，凹凸點，沾污，顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實現空間缺陷點位（夾層缺陷判別）
● 樣品無形狀要求（不要求圓片）
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Lumina AT-Auto系列
型 號 ：AT1/2
產 地 ：美國
采用光學表面分析（OSA）專用技術的自動特征缺陷（DOI）檢測與分類系統。
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Lumina AT-EFEM系列
● 最高分辨率可達 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場可達"600*600mm"
● 軟件自動分篩統計”劃痕，凹凸點，沾污，顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實現空間缺陷點位（夾層缺陷判別）
● 樣品無形狀要求（不要求圓片）
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