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透明膜層 厚度/反射率 -(面型)

Filmetrics F50-系列
透明膜層 面型厚度測量

Filmetrics F50-系列

速度快,可形成3D面型厚度分布
XY自動采點獲取信息,并行程3D面型數據
樣品直徑可達450毫米
需根據測量厚度,選擇相應波長型號配置
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Filmetrics F54
透明膜層 面型厚度測量

Filmetrics F54

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Filmetrics F54 XY-200
透明膜層 面型厚度測量

Filmetrics F54 XY-200

更加高級光譜反射系統
XY自動采點獲取信息,并行程3D面型數據
適用尺寸最大達到200mm×200mm
需根據測量厚度,選擇相應波長型號配置
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Filmetrics F60-T
透明膜層 面型厚度測量

Filmetrics F60-T

自動化測試膜厚和折射率
XY自動采點獲取信息,并行程3D面型數據
凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺
需根據測量厚度,選擇相應波長型號配置
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Filmetrics F60-C
透明膜層 面型厚度測量

Filmetrics F60-C

自動晶圓傳輸薄膜厚度測繪系統
適用于產線全自動膜厚測量
一鍵自動測量,操作簡單
自動尋找v-槽、自動基準校正、運動聯鎖裝置的封閉式測量臺
需根據測量厚度,選擇相應波長型號配置
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銷售:廖經理

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