*已整理所有中英文目錄,供您下載
多功能 光譜共聚焦3D輪廓儀 FocalSpec
FocalSpec CT Series
● 重復(fù)精度50納米;
● 完美適應(yīng)“透明","高反光" 等復(fù)雜表面材料
● 可測量平面度、粗糙度、輪廓臺階等3D尺寸
● 最大掃描成像 視場 300*300mm(兼容12" wafer)
點擊查詢
光譜共聚焦3D輪廓儀
? 適用于透明/高反光 等復(fù)雜樣品表面的掃描成像
? 最大掃描重復(fù)精度可達(dá) 50nm
? 2D平面尺寸,3D輪廓高低臺階,3D平面度面型測量,表面粗糙度? 測試,3D-CAD對比功能,線輪廓度,面輪廓度等
? 靈活測試方案,可以做產(chǎn)線自動化訂制;實現(xiàn)在線全檢。
? 最大拼接視野 可達(dá)300*300mm
|
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?透明玻璃/高反光金屬? 手機混合類材料3D檢測/測量
? ?平面度/平整度測試/? BGA植絨球
大視野下 納米級 粗糙度表面分析