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團(tuán)隊(duì)超20年的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，熟知光學(xué)、光譜、電性等行業(yè)測(cè)試，我會(huì)在最快的時(shí)間與您聯(lián)絡(luò)；
銷售：廖經(jīng)理
手機(jī)：18620906383
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3D表面輪廓粗糙度
FocalSpec CT Series
● 重復(fù)精度50納米；
● 完美適應(yīng)“透明"，"高反光" 等復(fù)雜表面材料
● 可測(cè)量平面度、粗糙度、輪廓臺(tái)階等3D尺寸
● 最大掃描成像 視場(chǎng) 300*300mm（兼容12" wafer)
光譜共聚焦3D輪廓儀
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? 適用于透明/高反光 等復(fù)雜樣品表面的掃描成像
? 最大掃描重復(fù)精度可達(dá) 50nm
? 2D平面尺寸，3D輪廓高低臺(tái)階，3D平面度面型測(cè)量，表面粗糙度? 測(cè)試，3D-CAD對(duì)比功能，線輪廓度，面輪廓度等
? 靈活測(cè)試方案，可以做產(chǎn)線自動(dòng)化訂制；實(shí)現(xiàn)在線全檢。
? 最大拼接視野 可達(dá)300*300mm
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? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?透明玻璃/高反光金屬? 手機(jī)混合類材料3D檢測(cè)/測(cè)量
? ?平面度/平整度測(cè)試/? BGA植絨球
大視野下 納米級(jí) 粗糙度表面分析
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KLA-Profilm 3D
● 亞納米級(jí)別精度下，
● 最大可實(shí)現(xiàn)厘米級(jí)視野（自動(dòng)拼接）
● 平面度/平整度/面型測(cè)量，涵蓋粗糙度，臺(tái)階輪廓等測(cè)量功能；
（KLA知名品牌，售價(jià)低，高性價(jià)比）
MicroProf@半/全自動(dòng)系列
● 納米級(jí)別精度下，
● 最大可滿足12寸晶圓全幅面測(cè)量
● 平面度/平整度/面型測(cè)量，涵蓋TTV BOW WARP，粗糙度，膜厚等測(cè)量功能
（適用實(shí)驗(yàn)離線分析 和 產(chǎn)線線上全自動(dòng)分析）
MicroProf?AP
晶圓3D輪廓顯微測(cè)量
Max 300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測(cè)量
全自動(dòng) 實(shí)現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測(cè)試
MicroProf AP系列 全自動(dòng)系列
MicroProf?DI
晶圓3D輪廓顯微測(cè)量
Max300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測(cè)量
全自動(dòng) 實(shí)現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測(cè)試
MicroProf DI系列 全自動(dòng)系列
MicroProf?FE
晶圓3D輪廓顯微測(cè)量
Max 300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測(cè)量
全自動(dòng) 實(shí)現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測(cè)試
MicroProf FE系列 全自動(dòng)系列
MicroProf?FS
晶圓3D輪廓顯微測(cè)量
Max 300mm范圍 全視野 3D輪廓掃描測(cè)量
全自動(dòng) 實(shí)現(xiàn)TTV BOW WARP 粗糙度等測(cè)試
MicroProf FS系列 全自動(dòng)系列
ALICONA InfiniteG5
● 20納米級(jí)別精度，
● 豐富的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)配件，"全自動(dòng)" 360度掃描成像
● 適用復(fù)雜空間結(jié)構(gòu)尺寸測(cè)量要求，且可逆向設(shè)計(jì)
（典型案例：刀具、噴油嘴，高精密齒輪，渦輪片等）
ALICONA EdgeMaster
● 20納米級(jí)別精度，
● 豐富的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)配件，"半自動(dòng)" 360度掃描成像
● 適用復(fù)雜空間結(jié)構(gòu)尺寸測(cè)量要求，且可逆向設(shè)計(jì)
（典型案例：刀具、噴油嘴，高精密齒輪，渦輪片等）
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