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透明膜層 在線膜厚測量 Filmetrics

Filmetrics F30
透明膜層 在線膜厚測量

Filmetrics F30

在線監控薄膜沉積厚度
F30光譜反射率系統能實時測量沉積率、沉積層厚度、光學常數(n和k值)
測量精度高于±1%
需根據測量厚度,選擇相應波長型號配置
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