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納米級(jí) 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
KLA-Profilm 3D
● 亞納米級(jí)別精度下,
● 最大可實(shí)現(xiàn)厘米級(jí)視野(自動(dòng)拼接)
● 平面度/平整度/面型測(cè)量,涵蓋粗糙度,臺(tái)階輪廓等測(cè)量功能;
(KLA知名品牌,售價(jià)低,高性價(jià)比)
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KLA-Profilm 3D
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