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DC 直流 / (IV、CV)測(cè)試
M系列小型手動(dòng)探針臺(tái)
兼容4/6寸平臺(tái)大小
測(cè)試器件的PAD點(diǎn)大于30μm
DC直流/(IV、CV、I-t、V-t),DC直流/低電流（100fA級(jí)）測(cè)試，1/f噪聲測(cè)試，器件表征測(cè)試，RF射頻
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