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粗糙度/臺階/角度/ 弧度 (探針接觸式)
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PARK NX10
獨有的True Non-Contact?模式 可編程自動化測量
Park消除串擾技術 亞納米可靠性
掃描離子電導顯微鏡模塊 豐富應用領域
性價比高 經濟首選
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Tencor? P-7
全自動 更高精度 更高效率
全電動150mmXY級、Z級,360° θ階段
垂直范圍1.2mm
頂部模式識別視圖或側視圖測量可視化
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Tencor? D-600
粗糙度 臺階高精度測量的高性價比
XY自動平臺 200mm平臺
垂直范圍1.2mm
用于測量可視化的側視圖光學系統
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