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光學3D顯微輪廓測量
多功能 光譜共聚焦3D輪廓儀 FocalSpec
納米級 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
全自動 晶圓全檢儀 FRT MicroProf?
5軸 空間三維全尺寸顯微測量系統 Alicona
原子力臺階儀
亞納米 全自動 原子力顯微鏡 Park
亞納米 半自動 原子力顯微鏡 Park
納米級 全自動 接觸式 臺階儀 KLA-Tencor
納米級 半自動 接觸式 臺階儀 KLA-Tencor
表面缺陷檢測
激光 表面缺陷分析 Lumina
光學 表面缺陷分析 Candela
薄膜厚度表征
透明膜層 單點厚度測量 Filmetrics
透明膜層 面型厚度測量 Filmetrics
透明膜層 在線膜厚測量 Filmetrics
非透明 金屬膜層測量 Filmetrics
電性表征測試
電阻率測試儀 四探針臺 Filmetrics
小型手動探針臺 Semishare
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3D表面輪廓粗糙度
平面度/平整度（面型）
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粗糙度/臺階/角度/ 弧度 (光學非接觸式）
TTV,BOW,WARP，厚度…
360度 全景3D顯微輪廓測量
表面缺陷檢測
表面缺陷 判別統計
穿透式 內部缺陷分析
薄膜膜厚檢測
透明膜層 厚度/反射率 -（單點）
透明膜層 厚度/反射率 -（面型）
透明膜層 厚度/反射率 -（在線）
非透明 金屬膜 厚度/反射率
電性表征測量
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