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小型手動探針臺 Semishare
M系列小型手動探針臺
兼容4/6寸平臺大小
測試器件的PAD點大于30μm
DC直流/(IV、CV、I-t、V-t),DC直流/低電流（100fA級）測試，1/f噪聲測試，器件表征測試，RF射頻
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H系列綜合性手動探針臺
兼容6/8/12寸平臺
卡盤移動技術，可滿足客戶對整片晶圓高效測試的需求
可搭配不同的套件實現更寬泛的測試功能
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FA系列 失效分析型探針臺
兼容1/2寸平臺
兼容高倍率金相顯微鏡，可達到1μm以上的Pad測試
高精度系統，激光加工精度可達1*1μm
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C系列 高低溫手動探針臺
兼容12寸平臺
高低溫環境下，0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試
高低溫環境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，材料/器件的IV/CV特性測試
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CG真空高低溫探針臺
兼容2/4寸平臺
探針定位精確為10um,探針漂移量優于土60nm/30mins的高精度點針
實現測試漏電精度達50FA
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