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測量項目
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PARK NX10
獨有的True Non-Contact?模式 可編程自動化測量
Park消除串擾技術 亞納米可靠性
掃描離子電導顯微鏡模塊 豐富應用領域
性價比高 經濟首選
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Tencor? P-7
全自動 更高精度 更高效率
全電動150mmXY級、Z級,360° θ階段
垂直范圍1.2mm
頂部模式識別視圖或側視圖測量可視化
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Tencor? D-600
粗糙度 臺階高精度測量的高性價比
XY自動平臺 200mm平臺
垂直范圍1.2mm
用于測量可視化的側視圖光學系統
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Lumina AT1系列
型 號 :AT1/2
產 地 :美國
采用光學表面分析(OSA)專用技術的自動特征缺陷(DOI)檢測與分類系統。
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Lumina AT2系列
● 最高分辨率可達 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場可達450*450mm
● 軟件自動分篩統計”劃痕,凹凸點,沾污,顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實現空間缺陷點位(夾層缺陷判別)
● 樣品無形狀要求(不要求圓片)
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