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產(chǎn)品中心
光學(xué)3D顯微輪廓測(cè)量
多功能 光譜共聚焦3D輪廓儀 FocalSpec
納米級(jí) 3D白光干涉成像 KLA-Profilm 3D
全自動(dòng) 晶圓全檢儀 FRT MicroProf?
5軸 空間三維全尺寸顯微測(cè)量系統(tǒng) Alicona
原子力臺(tái)階儀
亞納米 全自動(dòng) 原子力顯微鏡 Park
亞納米 半自動(dòng) 原子力顯微鏡 Park
納米級(jí) 全自動(dòng) 接觸式 臺(tái)階儀 KLA-Tencor
納米級(jí) 半自動(dòng) 接觸式 臺(tái)階儀 KLA-Tencor
表面缺陷檢測(cè)
激光 表面缺陷分析 Lumina
光學(xué) 表面缺陷分析 Candela
薄膜厚度表征
透明膜層 單點(diǎn)厚度測(cè)量 Filmetrics
透明膜層 面型厚度測(cè)量 Filmetrics
透明膜層 在線膜厚測(cè)量 Filmetrics
非透明 金屬膜層測(cè)量 Filmetrics
電性表征測(cè)試
電阻率測(cè)試儀 四探針臺(tái) Filmetrics
小型手動(dòng)探針臺(tái) Semishare
半自動(dòng) 探針臺(tái) Semishare
全自動(dòng) 探針臺(tái) Semishare
微納加工設(shè)備
半導(dǎo)體 生產(chǎn)設(shè)備
檢測(cè)設(shè)備
測(cè)量項(xiàng)目
3D表面輪廓粗糙度
平面度/平整度(面型)
粗糙度/臺(tái)階/角度/ 弧度 (探針接觸式)
粗糙度/臺(tái)階/角度/ 弧度 (光學(xué)非接觸式)
TTV,BOW,WARP,厚度…
360度 全景3D顯微輪廓測(cè)量
表面缺陷檢測(cè)
表面缺陷 判別統(tǒng)計(jì)
穿透式 內(nèi)部缺陷分析
薄膜膜厚檢測(cè)
透明膜層 厚度/反射率 -(單點(diǎn))
透明膜層 厚度/反射率 -(面型)
透明膜層 厚度/反射率 -(在線)
非透明 金屬膜 厚度/反射率
電性表征測(cè)量
襯底電阻率、片電阻
薄膜電阻率、片電導(dǎo)率和體電導(dǎo)率
DC 直流 / (IV、CV)測(cè)試
1/ f 噪聲測(cè)試
RF射頻測(cè)試
LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試
低電流(100 fA 級(jí))測(cè)試
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芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試
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