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測(cè)量項(xiàng)目
Lumina AT-Auto系列
型 號(hào) :AT1/2
產(chǎn) 地 :美國(guó)
采用光學(xué)表面分析(OSA)專(zhuān)用技術(shù)的自動(dòng)特征缺陷(DOI)檢測(cè)與分類(lèi)系統(tǒng)。
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Lumina AT-EFEM系列
● 最高分辨率可達(dá) 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場(chǎng)可達(dá)"600*600mm"
● 軟件自動(dòng)分篩統(tǒng)計(jì)”劃痕,凹凸點(diǎn),沾污,顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實(shí)現(xiàn)空間缺陷點(diǎn)位(夾層缺陷判別)
● 樣品無(wú)形狀要求(不要求圓片)
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Filmetrics F20
● 速度快 經(jīng)濟(jì)實(shí)惠 全球銷(xiāo)冠
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量 操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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Filmetrics F3-sX
● 測(cè)量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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Filmetrics F3-CS
● 為微小視野及微小樣品測(cè)量設(shè)計(jì),如聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層厚度
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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Filmetrics F10-ARc
● 適用測(cè)量曲面樣品 眼鏡鏡片 鏡頭
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量 操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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Filmetrics F10-RT
● 適用真空鍍膜產(chǎn)品,反射和透色光譜
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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Filmetrics F10-HC
● 分析單層和多層硬涂層,如汽車(chē)涂層
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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Filmetrics F10-AR
● 分析減反涂層和鏡頭上的硬涂層
● 一鍵自動(dòng)測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測(cè)試
(需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置)
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