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Lumina AT-Auto系列
激光 表面缺陷分析 Lumina-AT-Auto

Lumina AT-Auto系列

品 牌 ：Lumina
型 號 ：AT1/2
產 地 ：美國
采用光學表面分析（OSA）專用技術的自動特征缺陷（DOI）檢測與分類系統。
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Lumina AT-EFEM系列
激光 表面缺陷分析 Lumina AT-EFEM

Lumina AT-EFEM系列

推薦理由： * 搭載EFEM系統
● 最高分辨率可達 100nm PSL
● 全幅面 掃描 最大視場可達"600*600mm"
● 軟件自動分篩統計”劃痕，凹凸點，沾污，顆粒"等缺陷
● 透明樣品 可實現空間缺陷點位（夾層缺陷判別）
● 樣品無形狀要求（不要求圓片）
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Filmetrics F20
單點膜厚測試儀 F20系列

Filmetrics F20

推薦理由：
● 速度快 經濟實惠 全球銷冠
● 一鍵自動測量 操作簡單
● 最快不到1s,完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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Filmetrics F3-sX
單點厚度測試儀 F3-sX系列

Filmetrics F3-sX

推薦理由：
● 測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米
● 一鍵自動測量，操作簡單
● 最快不到1s，完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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Filmetrics F3-CS
單點厚度測試儀 F3-CS系列

Filmetrics F3-CS

推薦理由：
● 為微小視野及微小樣品測量設計，如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度
● 一鍵自動測量，操作簡單
● 最快不到1s，完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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Filmetrics F10-ARc
單點厚度測試儀 F10-ARc系列

Filmetrics F10-ARc

推薦理由：
● 適用測量曲面樣品 眼鏡鏡片 鏡頭
● 一鍵自動測量 操作簡單
● 最快不到1s，完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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Filmetrics F10-RT
單點厚度測試儀 F10-RT系列

Filmetrics F10-RT

推薦理由：
● 適用真空鍍膜產品，反射和透色光譜
● 一鍵自動測量，操作簡單
● 最快不到1s，完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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Filmetrics F10-HC
單點膜厚測試儀 F10-HC系列

Filmetrics F10-HC

推薦理由：
● 分析單層和多層硬涂層，如汽車涂層
● 一鍵自動測量，操作簡單
● 最快不到1s，完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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Filmetrics F10-AR
單點厚度測試儀 F10-AR系列

Filmetrics F10-AR

推薦理由：
● 分析減反涂層和鏡頭上的硬涂層
● 一鍵自動測量，操作簡單
● 最快不到1s，完成厚度和反射率測試
（需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置）
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