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薄膜厚度表征
Filmetrics F54 XY-200
XY自動采點獲取信息，并行程3D面型數據
適用尺寸最大達到200mm×200mm
需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置
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Filmetrics F60-T
XY自動采點獲取信息，并行程3D面型數據
凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺
需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置
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Filmetrics F60-C
適用于產線全自動膜厚測量
一鍵自動測量，操作簡單
自動尋找v-槽、自動基準校正、運動聯鎖裝置的封閉式測量臺
需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置
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Filmetrics F30
F30光譜反射率系統能實時測量沉積率、沉積層厚度、光學常數（n和k值）
測量精度高于±1%
需根據測量厚度，選擇相應波長型號配置
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Filmetrics? R50-系列
● 襯底電阻率、片電阻等電性能測試
● 非透明，金屬膜和背面工藝層厚度測量
● 可選配接觸式四點探頭和非接觸式渦流探頭
● 性價比高
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