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光學3D顯微輪廓測量

Tencor? D-600
納米級 半自動接觸式臺階儀

Tencor? D-600

半自動接觸式臺階儀
粗糙度 臺階高精度測量的高性價比
XY自動平臺 200mm平臺
垂直范圍1.2mm
用于測量可視化的側視圖光學系統
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