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薄膜膜厚檢測(cè)
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Filmetrics F54 XY-200
XY自動(dòng)采點(diǎn)獲取信息,并行程3D面型數(shù)據(jù)
適用尺寸最大達(dá)到200mm×200mm
需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置
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Filmetrics F60-T
XY自動(dòng)采點(diǎn)獲取信息,并行程3D面型數(shù)據(jù)
凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)
需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置
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Filmetrics F60-C
適用于產(chǎn)線全自動(dòng)膜厚測(cè)量
一鍵自動(dòng)測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
自動(dòng)尋找v-槽、自動(dòng)基準(zhǔn)校正、運(yùn)動(dòng)聯(lián)鎖裝置的封閉式測(cè)量臺(tái)
需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置
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Filmetrics F30
F30光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測(cè)量沉積率、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k值)
測(cè)量精度高于±1%
需根據(jù)測(cè)量厚度,選擇相應(yīng)波長(zhǎng)型號(hào)配置
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Filmetrics? R50-系列
● 襯底電阻率、片電阻等電性能測(cè)試
● 非透明,金屬膜和背面工藝層厚度測(cè)量
● 可選配接觸式四點(diǎn)探頭和非接觸式渦流探頭
● 性價(jià)比高
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